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Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)室和制造工廠、生物和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統(tǒng)包含 EBIC、冷凍樣品臺(tái)、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精確真實(shí)的納米尺度信息，卓越的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對(duì)大多數(shù)帶電或污染樣品進(jìn)行超高分辨率研究。這些均為 Nova? NanoSEM 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征。

Nova NanoSEM系列產(chǎn)品除先進(jìn)的光學(xué)（包括雙模最終透鏡）、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內(nèi)探測(cè)和射束減速的強(qiáng)大組合功能之外，采用了最新一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測(cè)器的全新套件，并具備多功能SE/BSE 過濾功能，最大程度地優(yōu)化重要信息。智能掃描模式可用于最大程度減少假像。樣品清潔對(duì)于低電壓高分辨率成像至關(guān)重要，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免于碳?xì)浠衔镂廴荆┘右跃S護(hù)。NovaNanoSEM 450 配置了最高 200 nA 射束電流和大型電動(dòng)傾斜樣品臺(tái)，分析能力因此也大幅提升。一切均不會(huì)影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可使用其獨(dú)一無二的低真空能力表征或分析更多樣品，包括大多數(shù)非導(dǎo)電或污染材料。由于 FEI Helix? 探測(cè)器技術(shù)，低真空表征可一直擴(kuò)展至超高分辨率。大小樣品均可輕易置入大型樣品室，并置于 Nova NanoSEM 高度精確且穩(wěn)定的樣品臺(tái)上。此外，高清相機(jī)和相關(guān)導(dǎo)航裝置可幫助迅速發(fā)現(xiàn)興趣所在區(qū)域并移至相應(yīng)區(qū)域。

至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可提供最全面的整合工具集合，包括 16 位板載數(shù)字圖案生成器和專用制圖軟件、高速靜電射束熄滅裝置以及用于直接電子束寫入式納米結(jié)構(gòu)的氣體注射系統(tǒng)。Nova NanoSEM 650 樣品臺(tái)配置了壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，可在 150 x 150 mm 移動(dòng)范圍內(nèi)完全實(shí)現(xiàn)更細(xì)致且更高的 XY 可重復(fù)性。