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XPS、AES、SIMS

X射線光電子能譜儀（X-ray Photoelectron Spectrograph）用于固體樣品的表面組成分析、化學(xué)狀態(tài)分析；化學(xué)態(tài)的深度分析；線掃瞄或面掃瞄以得到線或面上的元素或化學(xué)態(tài)分布；成像功能；進(jìn)行樣品的原位處理等等多個方面。XPS適合的行業(yè)有：納米薄膜材料，微電子材料，催化劑，摩擦化學(xué)，高分子材料的表面和界面研究，包括為存儲介質(zhì)、生物材料、藥品、金屬、礦物、復(fù)合材料和涂料等提供完整的表面分析解決方案。