科學(xué)儀器???實(shí)驗(yàn)方案???計(jì)量檢測?? 設(shè)備運(yùn)維
科學(xué)儀器???實(shí)驗(yàn)方案???計(jì)量檢測?? 設(shè)備運(yùn)維
俄歇電子能譜儀(Auger Electron Spectrometer, AES)為微電子業(yè)常見的表面分析技術(shù)之一。原理是利用一電子束為激發(fā)源,使表面原子之內(nèi)層能階的電子游離出,原電子位置則會產(chǎn)生電洞,導(dǎo)致能量不穩(wěn)定,此時(shí)外層電子會填補(bǔ)產(chǎn)生之電洞,進(jìn)而釋放能量傳遞至外層能階電子,造成接受能量的電子被激發(fā)游離,游離的電子即為Auger電子。因其具有特定的動(dòng)能,所以能依據(jù)動(dòng)能的不同來判定材料表面的元素種類。
PHI的710納米探針俄歇掃描 提供高性能的俄歇(AES)頻譜分析,俄歇成像和濺射深度分析的復(fù)合材料包括:納米材料,催化劑,金屬和電子設(shè)備。維持基于PHI CMA的核心俄歇儀器性能,和響應(yīng)了用戶所要求以提高二次電子(SE)成像性能和高能量分辨率光譜。PHI的同軸鏡分析儀(CMA)提供了同軸分析儀和電子槍的幾何實(shí)現(xiàn)高靈敏度多角度廣泛收集,以便完成三維結(jié)構(gòu)圖,在納米級技術(shù)的發(fā)展這是最基礎(chǔ)的。為了提高SE成像性能,閃爍探測器(Scintillator)已被添加以提高圖像質(zhì)量,另再加上數(shù)碼按鈕的用戶界面再一次的提高了易用性。在不用修改CMA和仍維持俄歇在納米分析的優(yōu)勢下,再添加了高能量分辨率光譜模式,使化學(xué)態(tài)分析的可能再大大的提高??偫▉碚f,700Xi以優(yōu)越的俄歇納米探針從世界領(lǐng)先的俄歇表面分析儀器,提供了實(shí)用和成熟的技術(shù),以滿足納米尺度所需要的廣泛實(shí)驗(yàn)與研發(fā)的用途。
儀器性能和維護(hù)對于實(shí)驗(yàn)室的運(yùn)行來說至關(guān)重要,禹重為您提供培訓(xùn)、儀器服務(wù)計(jì)劃或按需維修服務(wù),幫助您獲得準(zhǔn)確可靠的結(jié)果以及最長的儀器正常運(yùn)行時(shí)間。我們很清楚保持儀器的最優(yōu)性能對提高您的生產(chǎn)力極為重要,因此,我們定能在您需要時(shí)為您排憂解難。
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